器件特性表征
Infinity Probe
• Infinity探针是业界性能最好的射频探针,具有卓越的测量精度和重复性
• 典型接触电阻 < 0.05 Ω(吕焊盘),< 0.02 Ω(金焊盘)
• 典型插入损耗为0.7 dB(直流到40 GHz/ GSG)
• 可测量缩小至25 x 35 微米焊盘(最佳情况),节省了宝贵的晶圆空间并减少了焊盘寄生电容
• 典型接触电阻 < 0.05 Ω(吕焊盘),< 0.02 Ω(金焊盘)
• 典型插入损耗为0.7 dB(直流到40 GHz/ GSG)
• 可测量缩小至25 x 35 微米焊盘(最佳情况),节省了宝贵的晶圆空间并减少了焊盘寄生电容